光学NanoGauge C10178-03J

C10178型光学纳米膜厚测量系统是一款利用光谱干涉法测量薄膜厚度的非接触式测量系统。光谱干涉法可以快速、高精度以及高灵敏度地测量出薄膜厚度。C13027使用多通道光谱仪PMA作为检测器,测量各种光学滤光片和涂膜厚度的同时还可以测量量子产率,反射率,透射/吸收率等参数。


C10178-03J支持NIR(900 nm至1650 nm)。

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详细参数 产品特性 外形尺寸(单位:mm)

详细参数

型号 C10178-03J
可测膜厚范围(玻璃) 150 nm to 50 μm*1
测量可重复性(玻璃) 0.05 nm*2 *3
测量准确性(玻璃) ±0.4 %*3 *4
光源 Halogen light source
光斑尺寸 Approx. φ1 mm*3
工作距离 10 mm*3
可测层数 Max. 10 layers
分析 FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis
测量时间 19 ms/point*5
光纤连接头 φ12 sleeve shape
外部控制功能 RS-232C, PIPE, Ethernet
电源 AC100 V to AC120 V , 50 Hz/60 Hz
功耗 Approx. 230 VA
测量波长范围 900 nm to 1650 nm
测量模式(特征) supports NIR

*1 转换时玻璃的折射率是1.5

*2 测量400 nm玻璃薄膜厚度时为标准偏差(公差)

*3 取决于光学系统或物镜放大倍数

*4 测量保证范围同VLSI标准测量保证文件一致

*5 最短曝光时间

产品特性

● 高速、高准确性(可测膜厚范围(玻璃):150 nm-50μm)


● 实时测量


● 非恒定膜层的精确测量


● 分析光学常量(n, k)


● 可外部控制


● 可以使用特定附件测量量子产率,反射率,透射率和吸收率

外形尺寸(单位:mm)

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