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滨松推出迷你MEMS-FPI近红外光谱探测器
发布时间:2015-10-29
MEMS-FPI NIR Spectrum Sensor,全称“MEMS法布里珀罗腔型近红外光谱探测器”,简称MEMS-FPI。是2015年滨松公司新推出的一款超小型、低成本的光谱探测产品。
该器件彻底打破了传统意义上人们对于光谱仪的认知,不仅原理上跟传统光谱仪完全不同,还将微型化做到了新的极致,这主要源于以下几方面的努力:
首先,该器件使用的分光技术不是常规的光栅,而是极为罕见的方法——法布里珀罗标准具,所以使得该光谱仪仅仅使用单点的InGaAs探测器,就能够得到光谱图。因此较大地节省了InGaAs材料,降低了制作成本,并且缩减了探测器部分的体积。
其次,法布里珀罗标准具的制作,采用的是MEMS加工方法,从而分光部分的体积也减小不少,探测器部分和分光部分也被紧凑地封装在了一个器件之中。
该MEMS-FPI(光谱范围在1.55~1.85μm)可以实现对气体(环境测量)、食品和饮料、农产品、饲料、石油化工等产品的检测。在便携式、可穿戴等民用产品中具有较好应用前景。目前滨松拥有该产品的少量配套评估板和软件可供产品的评估用。

MEMS-FPI C13272

MEMS-FPI C13272 结构图